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真空热处理具有以下的优点:
真空热处理几乎可实现全部热处理工艺,如淬火、退火、回火、渗碳、氮化,在淬火工艺中可实现气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等,还可以进行真空钎焊、烧结、表面处理等。

真空热处理炉热效率高,可实现快速升温和降温,可实现无氧化、无脱碳、无渗碳,可去掉工件表面的磷屑,并有脱脂除气等作用,从而达到表面光亮净化的效果,使模具变得相对光亮。

一般来说,被处理的工件在炉内加热缓慢,内热温差较小,热应力小,因而变形小,产品合格率高,并且工件真空热处理后的硬度是普通热处理的3-5倍。对于一些价值很高的精密工件,比如大型精密模具特别重要,真空热处理大大提高了其使用寿命,最终结果原本企业一年使用10个精密模具,现在只需要使用2-3个精密模具。企业大大节约了生产成本,提高了经济效益。

被处理的工件没有氢脆危险,对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆,真空热处理工艺的稳定性和重复性好。相比普通热处理的工作环境,真空热处理的工作环境较好,操作安全,并且真空热处理技术没有污染和公害,是国际上公认的“绿色热处理”。

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