真空热处理具有以下的优点：
真空热处理几乎可实现全部热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化，在淬火工艺中可实现气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等，还可以进行真空钎焊、烧结、表面处理等。

真空热处理炉热效率高，可实现快速升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果，使模具变得相对光亮。

一般来说，被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小，产品合格率高，并且工件真空热处理后的硬度是普通热处理的3-5倍。对于一些价值很高的精密工件，比如大型精密模具特别重要，真空热处理大大提高了其使用寿命，最终结果原本企业一年使用10个精密模具，现在只需要使用2-3个精密模具。企业大大节约了生产成本,提高了经济效益。

被处理的工件没有氢脆危险，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，真空热处理工艺的稳定性和重复性好。相比普通热处理的工作环境，真空热处理的工作环境较好，操作安全，并且真空热处理技术没有污染和公害，是国际上公认的“绿色热处理”。