真空热处理的缺点：

1、容易产生蒸发现象。在真空中加热，有些饱和蒸气压较高的金属元素如铬、铜、锰、铝、铅、锌等，随着温度和真空度的升高会产生蒸发，使材料表面元素缺失，改变材料的表面性能，表面光洁度也随之下降。金属蒸发后的部分再沉积也将污染真空炉。因而在真空加热过程中有时需要向真空炉内充入微量保护气体(如纯氮氩)，以保护气体的压力抑制高蒸气压的金属的蒸发乃至升华现象发生。

2、放电现象的发生。真空状态时，在一定的气压和电压条件下，稀薄气体易电离产生辉光或弧光电弧。如电阻加热的电极处，感引器的电引入装置构件时，真空室内设置的电动机接线端子及其从真空室引出处，真空炉内的照明接线处等容易发生。其结果使这些端子过热氧化，绝缘等级下降或局部烧损。严重时会发生电气短路乃至烧毁这些构件。为减少和消除放电现象的发生，设计制造者采取的措施是降低电气元件的输入电压(如真空炉加热器和真空室照明电源的输入电压往往设计为36V左右，更高不超过70V)和调整电气工作时的气体压力，实践证明是行之有效的。

3、对设备操作者的文化素质等要求较高。因真空炉的控制、显示、操作仪表较多，设备运行过程环节严谨。涉猎物理、化学、计算机、机械、电气的多方面基础知识。需要操作者对设备工作过程有较清晰的认知水平和反应能力以及操作调整技能。

4、和普通非真空和保护气氛炉比较，真空热处理炉设备相对复杂，设备投资较大。