1、真空回火炉应该具有快冷装置。冷却水的压力应该大于0.2Mpa，流量应可调。
2、升温：放入工件后，一般先预抽至6.67Pa时方可升温加热
3、升温过程中，工件及炉内材料会放气，使真空度下降。
4、冷却气体：钢一般采用百分之99.995纯度的氮气，高温合金采用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金采用百分之99.995的氩气。
5、真空炉活动连接部分全部采用O型橡胶圈密封连接，此部分均通水冷却。
6、茶山热处理真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空时效的加热温度一般与常规处理时加热温度相同。
7、工件在真空状态下淬火，应使用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。
8、真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平时不用时吸气，吸潮。
9、茶山热处理国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h ，国外某些企业的标准为0.67Pa/h