为了缩短氮化周期，并使氮化工艺不受钢种的约束，在近年间在原氮化工艺基础上发展了软氮化和离子氮化两种新氮化工艺。
软氮化热处理实质上是以渗氮为主的低温氮碳共渗，钢的氮原子进入的一起，还有少数的碳原子进入，其处理结果与一般气体氮化比较，渗层硬度较氮化低，脆性较小，故称为软氮化。

1、软氮化热处理办法分为：气体软氮化、液体软氮化及固体软氮化三大类。目前国内生产中使用最广泛的是气体软氮化。气体软氮化是在含有活性氮、碳原子的气氛中进行低温氮、碳共渗，常用的共渗介质有尿素、、氨气和三乙醇胺，它们在软氮化温度下发生热分化反响，发生活性氮、碳原子。活性氮、碳原子被工件外表吸收，经过扩散进入工件表层，然后获得以氮为主的氮碳共渗层。
气体软氮化温度常用560-570℃，因该温度下氮化层硬度值最高。氮化时刻常为2-3小时，因为超越2.5小时，随时刻延伸，氮化层深度添加很慢。

2、软氮化层安排和软氮化特色：钢经软氮化后，外表最外层可获得几微米至几十微米的白亮层，它是由ε相、γ`相和含氮的渗碳体Fe3（C，N）所组成，次层为的扩散层，它主要是由γ`相和ε相组成。

软氮化热处理具有以下特色：
(1)、处理温度低，时刻短，工件变形小。
(2)、不受钢种约束，碳钢、低合金钢、工模具钢、不锈钢、铸铁及铁基粉未冶金资料均可进行软氮化处理。工件经软氮化后的外表硬度与氮化工艺及资料有关。

3、能显著地进步工件的疲劳强度、耐磨性和耐腐蚀性。在干冲突条件下还具有抗擦伤和抗咬合等性能。
4、因为软氮化层不存在脆性ξ相，故氮化层硬而具有必定的韧性，不容易脱落。因而，目前生产中软氮化巳广泛使用于模具、量具、刀具（如：高速钢刀具）等、曲轴、齿轮、气缸套、机械结构件等耐磨工件的处理。