​常采用高纯C2H2(纯度≥99.9%)为渗碳气体，由于是在真空环境下进行渗碳和后续热处理，且渗碳介质不含“氧气”，从而避免了传统气氛渗碳容易出现的渗碳层氧化和脱碳的缺点。除具有真空热处理的优点之外，还具有下列优势：

1、表面质量好：真空渗碳表面不氧化、不脱碳，保持金属本色；不产生内氧化（黑色组织），有助于提高零件的疲劳强度；能极大提高产品的可靠性和使用寿命。

​2、工件变形小：真空渗碳工件加热时，加热的速度连续可控，可减小工件的内外温差变形趋势；渗碳完成后，淬火方式为真空淬火，大幅减小工件的淬火变形；减小后期的加工量，节省加工成本。​

3、渗碳层深度更均匀：工件加热完成匀温之后，才通入渗碳气体，保证了大小工件起始渗碳点的同步性，这是渗碳层均匀的基础。真空对工件表面有净化作用，有利于碳原子被工件吸附。由于渗碳层深度的均匀性好，使浅层渗碳更易于控制。​

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