​调质后的零件，在渗氮处理前须澈底清洗干净，兹将包括清洗的渗氮工作程序分述如下：

1.渗氮前的零件表面清洗

大部分零件，可以使用气体去油法去油后立刻渗氮。但在渗氮前之最后加工方法若采用抛光、研磨、磨光等，即可能产生阻碍渗氮的表面层，致使渗氮后，氮化层不均匀或发生弯曲等缺陷。此时宜采用下列二种方法之一去除表面层。第一种方法在渗氮前首先以气体去油。然后使用氧化铝粉将表面作 abrassive cleaning 。第二种方法即将表面加以磷酸皮膜处理（phosphate coating）。

2.渗氮炉的排除空气

将被处理零件置于渗氮炉中，并将炉盖密封后即可加热，但加热至 150℃以前须作炉内排除空气工作。

排除炉内的主要功用是防止氨气分解时与空气接触而发生爆炸性气体，及防止被处理物及支架的表面氧化。其所使用的气体即有氨气及氮气二种。

排除炉内空气的要领如下：

（1）被处理零件装妥后将炉盖封好，开始通无水氨气，其流量尽量可能多。

（2）将加热炉之自动温度控制设定在 150℃并开始加热（注意炉温不能高于 150℃）。

（3）炉中之空气排除至 10％以下，或排出之气体含 90％以上之NH3时，再将炉温升高至渗氮温度。

3.氨的分解率

渗氮是铺及其它合金元素与初生态的氮接触而进行，但初生态氮的产生，即因氨气与加热中的钢料接触时钢料本身成为触媒而促进氨之分解。

虽然在各种分解率的氨气下，皆可渗氮，但一般皆采用 15～30％的分解率，并按渗氮所需厚度至少保持 4～10 小时，处理温度即保持在 520℃左右。

4.冷却

大部份的工业用渗氮炉皆具有热交换几，以期在渗氮工作完成后加以急速冷却加热炉及被处理零件。即渗氮完成后，将加热电源关闭，使炉温降低约 50℃，然后将氨的流量增加一倍后开始启开热交换机。此时须注意观察接在排气管上玻璃瓶中，是否有气泡溢出，以确认炉内之正压。等候导入炉中的氨气安定后，即可减少氨的流量至保持炉中正压为止。当炉温下降至 150℃以下时，即使用前面所述之排除炉内气体法，导入空气或氮气后方可启开炉盖。